Автореферат

Автор: Коровкина, Наталья Михайловна

Название: Развитие методов атомно-силовой микроскопии для контроля электрических и электрофизических параметров объектов микроэлектроники

Справка: Коровкина, Наталья Михайловна. Развитие методов атомно-силовой микроскопии для контроля электрических и электрофизических параметров объектов микроэлектроники : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.01 / С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ) Санкт-Петербург, 2006 16 c. : 9 06-12/2444-6 9 06-12/2445-4

Объем: 16 стр.

Информация: Санкт-Петербург, 2006

Скачивание файла!

Для скачивания файла вам нужно ввести
E-Mail: 1662
Пароль: 1662
Скачать файл.